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              Aera質量流量控制器

              FC-R7820CD質量流量控制器

              產品分類:Aera質量流量控制器

              產品介紹

              底價供應FC-R7820CD質量流量控制器詳細介紹

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              ?

              FC-R7820系列不僅能提供高精度流量控制。
              采用金屬材質密封具備優異的低泄漏特性,可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業通用和AE獨特電氣信號可選方案,可方便對用戶使用的質量流量控制器(MFC)進行替換,操作簡單。

              特點:

              ◆高精度

              ◆高信賴和可靠性

              ◆耐腐蝕設計

              ◆采用金屬密封材質

              ◆VCR、Swagelok互換的氣路接口

              ◆10SCCM-200SLM滿量程范圍

              ◆方便的互換性

              ◆高速應答***的統一性,目前世界上有大約7萬只在運行中的產品,內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽?

              ◆方便的互換性

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              技術參數:
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              性能指標

              FC-R7800CD/FC-R7800D系列

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              FC-R7810CD/FC-R7810D系列

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              FC-R7820CD/FC-R7820D系列

              ?

              滿量程范圍

              ?

              10Sccm-5Slm

              N/O:6-20slm*

              N/C:6-50slm**

              35-200Slm

              響應時間

              滿流量的±2%范圍內,小于2秒

              滿流量的±2%范圍內,小于3秒

              精度

              ≤±1%滿量程

              ≤±2%滿量程

              線性鍍

              ≤滿量程±0 5%

              ≤滿量程±0 5%?#1

              ≤滿量程±1%

              重復性

              ????????????????????????? ≤滿量程±0.2%

              泄漏率

              ??????????????????????????? 1X10E-11 Pa.m ?/sec

              控制范圍

              ??????????????????????????滿流量的2%-5%? #2

              壓差

              49Kpa-275Kpa

              ?

              69Kpa-275Kpa

              98Kpa-275Kpa

              147Kpa-275Kpa

              ?

              正常工作壓

              ?????????????????????????? 490Kpa

              ?

              進氣壓力

              ?????????????????????????? 980Kpa

              ?

              溫度范圍

              ?

              ?????????????????????????? 5-45℃(41-113℉)

              ?

              輸入電源

              ?

              +15VDC±2% 25mA

              -15VDC±2% 180mA

              +15VDC±2% 25mA

              -15VDC±2% 200mA

              功率

              3.1W max

              3.5W max

              輸入信號

              0-5 VDC

              輸出型號

              0-5 VDC

              控制閥形式

              常開或常閉電磁閥

              密封件

              金屬密封

              材質

              316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)

              標準接口

              1/4"VCR和Swagelok兼容

              3/8"VCR,1/4"VCR

              重量

              1.0KG

              2.7KG

              #1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%

              #2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***

              #3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa

              5

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