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              HORIBA質量流量控制器

              SEC-N112 數字式質量流量控制器

              產品分類:HORIBA質量流量控制器

              產品介紹

              概要

              基于多年來引領尖端技術產品的市場發展經驗,我們提供了一系列滿足客戶需求的質量流量計產品。 
              氣體被廣泛地運用于各種工業領域,從太陽能電池、燃料電池的研究和制造,這一獲得巨大關注的再生能源項目得到了全球各地的支持;到半導體、液晶面板和在電子行業中使用的發光二極管(LED)的研究和制造。在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率,進而節約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發展,為一流的制造工藝,包括半導體、光電和LED的制造提供服務,并將繼續開發新的產品來滿足客戶的需求。

              型號

               

              10sccm
              10SLM
              20SLM
              100SLM
              200SLM
              SEC-N102
              SEC-N112
              SEC-N122
              SEC-N132
              SEC-N142
              SEC-N104
              SEC-N114
              SEC-N124
              SEC-N134
              SEC-N144
              SEC-N106
              SEC-N116
              SEC-N126
              SEC-N136
              SEC-N146

              特征

              HORIBA STEC可以提供滿足您需求的全套產品。

              型號

              選擇信號傳輸模式

              選擇電源

              SEC-N102 系列

              數字式信號傳輸

              ?RS485 F-NET協議

              模擬式信號傳輸

              ?0~5VDC

              ±15VDC (±5%)

              HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的電源產品。

              SEC-N104 系列

              DeviceNet 信號傳輸

              遵照ODVA標準

              SEC-N106 系列

              PROFIBUS 信號傳輸

              模擬式信號傳輸

              ?0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA

              遵照PROFIBUS標準
              24VDC(13 to 32VDC)

               此型號適合各種小流量到大流量的需要。

              流量控制范圍為標定滿量程的2100%

              高精度

              ■高精度(設定點為基準)MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高,各種工藝氣體的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統進行校驗。

               

              整個流量控制范圍內都可實現高響應速度

              ■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response最新的可變PID運算法則:1秒高速響應 SEC-N100 系列搭載了最新開發的“可變PID系統”,對于所有設置點它可以實現1秒內的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時,可變PID將根據當下的設定點不斷變化,其PID參數也將隨之被優化。              

              多氣體、多量程的解決方案

              ■專用的軟件賦予用戶可以自由更改規格的能力 最新的多氣體、多量程系統使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。

              致力于成本考量,運用新的設計概念

              作為N100系列的替代,HORIBA STEC也可以提供具備超潔凈處理以及壓電陶瓷閥門的Z500系列產品。請注意,在沒有通知的情況下,可能會對某些需要提高生產率的部件和產品工藝做出修改,但不會牽涉到改變產品的規格。

              上一個 SEC-E50質量流量控制器
               
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